首先來講，講到真空泵機組的維護(hù)與維修，點來講，關(guān)于其充入的保護(hù)性氣體，純度上不應(yīng)該小于99.99%。緊接著，就真空泵機組設(shè)備來講，在很大的程度上也就是要注意不允許進(jìn)行使用易燃易爆與具有腐蝕性氣體作為保護(hù)氣氛。

    緊接著，就真空泵機組的維護(hù)與維修，關(guān)于設(shè)備表面以及其儀表表面在很大的程度上也就是要注意保持清潔，擦拭爐體內(nèi)壁不允許其出現(xiàn)有帶有水份或者是沾有非真空類用油的抹布進(jìn)行擦拭。

    接下來，對于真空泵機組上的維護(hù)和維修，氣動系統(tǒng)上面的氣動三連件上的油水分離器要注意經(jīng)常放水，油霧器當(dāng)中應(yīng)該是要注意注入真空擴散泵油。且設(shè)備在進(jìn)行使用的時候，對于整機電壓在很大的程度上也就是應(yīng)該是要保證在350～420 V范圍當(dāng)中。三相要保持平衡。

   再者，我們其實也就是要注意一下真空泵機組上的規(guī)管或者是電接點壓力表與熱偶等地方也就是應(yīng)該要注意經(jīng)常涂上擴散泵油，使它和座之間形成了一層油膜，這樣一來，就能防止設(shè)備出現(xiàn)漏氣的現(xiàn)象。就上述各個部分以及其法蘭連接的地方不允許長期進(jìn)行使用真空封泥密封，對于各個部分的螺栓也就是要注意定期進(jìn)行檢查，當(dāng)發(fā)現(xiàn)設(shè)備出現(xiàn)松動的時候，應(yīng)該要及時擰緊。

    后，就真空泵機組進(jìn)行工作的時候，要注意觀察一下各個儀表上的顯示情況，以及其各個泵的聲音，這樣來講，就其在很大的程度上也就是能方便我們及時的發(fā)現(xiàn)異常，然后方便我們找出問題。再者，就真空泵機組的使用環(huán)境，在相對濕度8處于5%以下，溫度也就是會在10～40℃。